SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氨氖激光器，其寿命可达50000小时;采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现最高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率;采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿;采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。

SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

产品特点

1、精度高

(1)采用激光双纵模热稳频技术，可实现长期稳定性好、抗干扰能力强的激光波长输出;

(2)采用高精度环境补偿单元，可实现波长和材料的手动或自动补偿;(3)干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，确保干涉光路稳定可靠。

2、功能广

(1)可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等参量的精

密测量;(2)配合WR50自动精密转台，可实现回转轴的角度测量与校准;(3)适用于测量直线导轨的定位精度、重复定位精度和反向间隙等:(4)可根据检测程序自动生成数控机床的运行程序;(5)可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据。

3、软件强

(1)友好的人机界面，向导式的操作流程:

(2)丰富的应用功能模块，强大的分析功能模块;(3)简洁化的记录管理，且支持企业专属模板定制;(4)支持中文简体、中文繁体、英文、韩文和俄文界面,

4、标准多

内置14份标准，包含GB、IS0、英标、美标、德标、日标等国内外通用标准。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。

线程测量基本配置

功能模块

线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台

经典应用案例